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电子工艺

p1a-水过滤及深度处理系统

发布时间:2017-06-28作者:阅读量:684

水过滤及深度处理系统

电子用纯水深度处理

在水处理领域,电子用水是所有应用领域要求最高的场合,根据不同的产品等级,水处理的要求也不一样,其处理流程也不尽相同。

在一般电子工业,比如PCB行业,纯水主要用于配槽液和冲洗工件,一般要求水质电阻率在5-10MΩ左右,一般采用反渗透加上粗混就可以达到。

在显示器(包括CRT、液晶和等离子显示器)和储存介质制造领域,电阻率的要求就提高到15MΩ左右,第二级精混床就必须要增加。

到了半导体制备时,18M 的纯水则使基本要求,但是越纯的水,其电阻率就越不稳定,所以脱出CO2气体的专用分离膜产品被引入系统。

在电阻制造特别是半导体领域,纯水水质达到要求,是整厂开机的基本条件,所以那些用于终端过滤产品的COD析出被控制在PPB等级,所以这些过滤产品的要求要远高于普通过滤的要求。


电子用水过滤系统

应用工艺

推荐过滤芯

滤芯精度

去除杂质大小

目的

F1.捕捉过滤

PP滤袋

5μm

75%以上的5μm杂质

捕捉杂质,保护F2滤芯,减少滤芯更换频次

F2.保安过滤器

滤芯

5μm

5um

保护反渗透膜

F3.反渗透膜



单只脱盐率高于99%

系统95%以上脱除盐份

F4.保护过滤

滤芯

绝对精度滤袋


13μm

防止中间水箱中杂质到后续工艺

F5.捕捉过滤

滤芯


13μm

捕捉树脂杂质

F6.CO2气体

脱出过滤

中空纤维


CO2气体去除率≥83.9%

脱出CO2气体,保证纯电阻率

F7.终端预过滤

折叠滤芯


0.450.22μm

保护终端过滤器

F8.终端预过滤

折叠滤芯


0.22/0.1/0.03μm

终端过滤器

F9.终端预过滤

折叠滤芯


0.22/0.1/0.03μm

保护终端过滤器

注:水处理的工艺已经有多种模式的配置,比如采用中空纤维超滤/微滤取代预过滤系统在大型水处理方面已经很常见,当遇到这些问题时,请咨询华滤环保技术部专业技术员。



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